VIP-lid
Ultrahoge resolutie veld emissie scanning elektronenmicroscoop SU8600 serie
Met de ontwikkeling van snelle gegevensverzameling en gegevensverwerkingstechnologieën is de elektronenmicroscoop een tijdperk binnengegaan dat niet a
Productdetails
Ultrahoge resolutie veld emissie scanning elektronenmicroscoop SU8600 serie
Met de ontwikkeling van snelle gegevensverzameling en gegevensverwerkingstechnologieën is de elektronenmicroscoop een tijdperk binnengegaan dat niet alleen de kwaliteit van de gegevens maar ook het verzamelproces waardeert. De SU8600-serie is gebaseerd op de hoge beeldkwaliteit van de Regulus 8200-serie, de grote stroomanalyse en de koude beeldvormingstechnologie voor langdurige stabiele werking, terwijl de capaciteit voor hoge throughputs en geautomatiseerde gegevensvervang aanzienlijk wordt verbeterd.
- *
- De foto's van het apparaat bevatten opties.
-
Kenmerken
-
Specificaties
Kenmerken
Kenmerken
Ultrahoge resolutie beeldvorming
De Hitachi High Brightness-elektronen zorgen voor ultrahoge resolutie beelden, zelfs bij een ultralage landingsspanning.
Voorbeelden van zeolit van het type RHO waargenomen onder spanningsomstandigheden van 0,8 kV. Links is de vorm van het deeltje als geheel, rechts is het vergrote beeld, de subtiele trappenstructuur van het oppervlak van het deeltje is duidelijk zichtbaar. De laagspanningswaarneming is effectief voor het verminderen van elektronenstraalschade en het verkrijgen van oppervlaktevorminformatie.
Voorbeeld verstrekt door: Japan Institute of Industrial Technology Integrated Research Mr. Uemura Jiada
Hoge bekleding lage versnelling spanning achter verspreiding afbeelding
3D NAND doorsneedwaarneming;
Onder lage versnellingsspanningsomstandigheden kan het terugverspreide elektronische signaal een duidelijk verschil in de laag van siliciumoxide en siliciumnitride tonen.
3D NAND-doorsneedwaarneming (versnelde spanning: 1,5 kV)
Snelle BSE-afbeelding: een nieuwe knipperende body back scattering electron detector (OCD)*
Dankzij het gebruik van de nieuwe OCD-detector is het mogelijk om een helder diepstructureel beeld van Fin-FET te waarnemen, zelfs als de scantijd minder dan 1 seconde is.
Observatie van de interne structuur van 5-nanoproces SRAM (versnelde spanning: 30kV, scantijd < 1 seconde)
Geavanceerde automatiseringsfuncties*
Met EM Flow Creator kunnen klanten geautomatiseerde workflows creëren voor continu afbeeldingsverzamelen. EM Flow Creator definieert verschillende SEM-functies als grafische modules, zoals het instellen van vergrooting, het verplaatsen van de monsterpositie, het aanpassen van de brandpuntsafstand en het licht-donker contrast. Gebruikers kunnen deze modules in een logische volgorde samenstellen in een werkprogramma met een eenvoudige muis. Na debugging en bevestiging kan het programma bij elke oproep automatisch beeldgegevens van hoge kwaliteit en reproduceerbaar krijgen.
Flexibele gebruikersinterface
Natieve ondersteuning voor dubbele displays voor een flexibele en efficiënte werkruimte. 6 kanalen worden zowel weergegeven als opgeslagen voor snelle waarneming en verzameling van meerdere signalen.
Het 1-, 2-, 4- of 6-kanaalsignaal kan tegelijkertijd op hetzelfde scherm worden weergegeven, met schakelbare inhoud, waaronder de SEM-detectoren, de monsterkamer-camera en de navigatiecamera. De werkruimte kan worden uitgebreid door het gebruik van twee monitoren en de gebruikersinterface kan worden aangepast om de productiviteit te verbeteren.
Specificaties
| Model | SU8600-serie | |
|---|---|---|
| Elektronische optische systemen | Secondaire elektronische resolutie | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Vergroot | 20 to 2,000,000 x | |
| Elektronische wapens | Elektronische bron met koud veld, ondersteunt flexibele knipperfunctie en bevat een anodisch baksysteem. | |
| Versnelde spanning | 0.5 to 30 kV | |
| Landingsspanning | 0.01 to 20 kV | |
| Detector | (gedeeltelijk optioneel) | De bovenste detector (UD) |
| UD ExB-energiefilter met SE/BSE-signaalmix | ||
| Onderdetector (LD) | ||
| Topdetector (TD) | ||
| TD energiefilter | ||
| Elektronendetector voor achterverspreiding in de spiegel (IMD) | ||
| Halfgeleider-achterverspreidings-elektronendetector (PD-BSED) | ||
| Nieuwe knipperende achterverspreide elektronendetector (OCD) | ||
| Katodefluorescentiedetector (CLD) | ||
| Stem-detectoren (STEM-detectoren) | ||
| Bijlagen | (gedeeltelijk optioneel) | Navigatiecamera's, monsterkamer-camera's, röntgenstraalenergie-spectrometer (EDS), back-scattered electron diffraction detector (EBSD) |
| De software | (gedeeltelijk optioneel) | EM Flow Creator, HD Capture (tot 40.960 x 30.720 pixels) |
| Voorbeeld Stand | Motoraandrijving | 5-assige motoraandrijving (X/Y/R/Z/T) |
| Motoraandrijving | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Steekproefkamer | Steekproefgrootte | Maximale diameter: 150 mm |
- *
- In de vertragingsmodus
Gerelateerde productcategorieën
- Focus ionstraalsysteem (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM-voorbehandelingsapparaat
Online onderzoek
-
Contactpersonen
-
Bedrijf
-
Telefoon
-
E-mail
-
WeChat
-
Verificatiecode
-
Berichtinhoud
-