1Technische kenmerken

lHoge vergrooting dual-oog dual-gezichtsveld microscoop en22inch breed scherm LCD-display waarneemt het uitlijningsproces tegelijkertijd en biedtUSBuitvoer; Voor zowel nauwkeurige afmetingen als voor het detecteren van blootstellingsresultaten en gemakkelijke opslag

lMet omgekeerde verlichting, het vervangen van kwiklampen is gemakkelijker, koeling en lekkagebestendig licht is beter

lUitlijningsniveau en blootstellingsniveau dubbelstaties werken, dubbelstaties automatisch schakelen

lGebruik van embedded computers+Touchscreen bediening, handiger te bedienen, stijlvoller

lDe versie is zeer handig, hoog niveau van automatisering en eenvoudig te bedienen. Onderwijs en onderzoek aan universiteiten (goede betrouwbaarheid, gemakkelijke presentatie) en fabrieken(Hoge efficiëntie)Vooral geschikt

2Technische parameters

lBlootstellingsgebied:100mm×100mm(kan upgraden naar6inch)

lBlootstellingsgolflengte:365nm

lResolutie:≤1mm(Dikte lijm1.5 mmhet lijm)

lNauwkeurigheid:±0.6mm

lBewegingsbereik van de microscoop scanner:X：10mm;Y:10mm

lMaat van het masker:2.5inch,3inch,4inch,5inch

lSteekproefgrootte: diameterf15mm--f100mm(verschillende onregelmatige films)

Dikte0.1mm--6mm

lExpositiemethode: timing (aftelling) en dosering

lMet vacuümblootstelling, harde blootstellingLichtDe vier functies van drukblootstelling en nabije blootstelling

lOngelijke verlichting: 3%（f100mmbereik)

lMicroscoop met dubbele gezichtsvelden: zowel via een brilVisueelUitlijnen, ook doorgegevenCCD+Display-uitlijning, optische afbeelding, optische maximale veelvoudigheid400Dubbel, optisch+Elektronische vergroting800Dubbel

Objecten drie paar:4dubbel,10dubbel,20Dubbel

Drie brillen:10dubbel,16dubbel,20Dubbel

lVervlakte contactdruk waarborgt herhaling via sensor

lDigitale instelling van uitlijningsgapen en gapen

lMet drukmodule-interface en dichtbij module-interface

lMasker ten opzichte van het proefstuk bewegingstraject:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaximale sterkte:400mm（SU8lijm, de gebruiker verstrekt testvoorwaarden)

lLichtbron paralleliteit:3?

lEnergiedichtheid van blootstelling:>25mW/cm2,Verlichtingstemperatuur<35?C

lEenlaagse blootstelling met één klik voltooid

lBall drijven+Drie klauwen zoeken

lMercury lamp vermogen:350W(gelijke stroom,Importeren）

3Afmetingen:1400mm(Lang)?900mm(Breed)?1500mm(hoog)

4Configuratie

（1(blootstelling hoofd)

lKoud licht ellipscoop

l350WImport DC hogedruk kwik lampen(Osram Duitsland)

lXYZMercury lamp regelaar

lKoelventilator

lOptische systemen: vaste lichtbalken, wisselbare lichtbalken, sluiters, directe spiegels1Directe spiegel2De groep vliegenogen (79een lens),iLijnenfilters, veldspiegels, koudelichtspiegels1De spiegel.2

（2(Werkplaats uitlijnen)

lLichtgravierbasis

lSchakelstation (cilinder)

lMasker Sample Gehele Sporttafel

lMasker voorbeeld relatieve beweging tafel

ldraaitafel

lSample uitlijningsinstantie,Drie punten automatisch voltooid

lProefscherpstelling, automatische instelling van de motor

lSubstrate-pull-up-down mechanisme

lDraagplaats4Eén:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(op verzoek van de gebruiker)

lMaskerklem4Eén:2.5inch,3inch,4inch,5inch (op verzoek van de gebruiker)

lSampling pull-up-down mechanisme

（3(Africhting microscoop)

llichtbronnen, Stroomvoorziening

lDubbele gezichtsveld uitlijning microscoop onderwerp

lBrillen3Ja.10dubbel,16dubbel,20Dubbel, in totaal6een)

lObjecten3Ja.4dubbel,10dubbel,20Dubbel, in totaal6een)

lCCDrichtingssysteem,22inch LCD-scherm

（4Elektronisch besturingssysteem

lMercury lamp activeert stroomvoorziening(350WDC-kviklamp)

lSingle chip besturingssysteem

lControlepaneel

lControletafel

（5Pneumatisch systeem

lCilinders, magnetische kleppen, drukverminderende kleppen, pneumatische schakelaars enz.

lElektromagnetische klep aandrijving

lPneumatische instrumenten

（6Overige bijlagen

lVacuümpomp één

lEen luchtcompressor

lOndersteunende interfacepijpen

（7Technische informatie

lGebruiksaanwijzingen voor reparatie

lCertificaat van productcontrole