• Hoge nauwkeurigheid ±1,0% instellingspunt
  De lineariteit van deze massastroom-regelaar wordt gecompenseerd door een polynomiale benaderingscurve en zorgt voor hoge nauwkeurigheid binnen het stroombeheersingsbereik. Om de werkelijke gasnauwkeurigheid te verbeteren, worden de kalibratiegegevens van verschillende procesgassen gemeten door het standaard gasmeetsysteem van HORIBA STEC.
• Hoge snelheid
  Een variabel PID-systeem zorgt voor een respons van 1 seconde tussen twee instellingspunten. De variabele PID verandert voortdurend afhankelijk van de instellingen van het stroompunt. Optimaliseer de PID-coëfficiënt bij volledige stroom- en gasveranderingen.
• Oplossingen voor meerdere gassen/omvang
  De configuratiesoftware maakt het snel en gemakkelijk om specificaties te wijzigen. Een belangrijk kenmerk is dat wijzigingen kunnen worden uitgevoerd zonder dat de massastroomregelaar van het gasbesturingspaneel of de leiding moet worden verwijderd. Vermindert het aantal reserve massa flow controllers dat nodig is en bespaart tijd en kosten.

De SEC-Z500X massafloopcontroler is geschikt voor verschillende toepassingen en voor de productie van halfgeleiders.