De Olympus Halfgeleider/FPD Inspectiemicroscopen MX63 en MX63L zijn geoptimaliseerd voor de kwalitatief hoogwaardige inspectie van wafers tot 300 mm, flatscreen displays, platen en andere grote monsters van chips. Hun modulaire ontwerp stelt u in staat de componenten te selecteren die uw systeem moeten aanpassen aan uw toepassing. Olympus Semiconductor/FPD Inspection Microscopy combineert Olympus Stream Image Analysis Software en vereenvoudigt uw hele werkstroom, van waarneming tot het maken van rapporten.

Frontier analytische hulpmiddelen

De multifunctionele waarnemingsmogelijkheden van de MX63-serie bieden heldere en heldere beelden, zodat gebruikers gebreken in de monsters betrouwbaar kunnen detecteren. De nieuwe verlichtingstechnologie en afbeeldingsopties in de Olympus Stream-beeldanalyse-software geven gebruikers meer mogelijkheden om hun monsters te evalueren en hun bevindingen te documenteren.

Onzichtbaar wordt zichtbaar: gemengd waarnemen en verkrijgen

De gemengde waarnemingstechniek genereert een uniek waarnemingsbeeld door het donkere veld te combineren met een andere waarnemingsmethode, zoals helder veld, fluorescentie of polarisatie. Gebruikers van gemengde observaties kunnen gebreken bekijken die moeilijk te zien zijn met een conventionele microscoop. De ronde LED-verlichting voor de observatie van het donkere gezichtsveld heeft een directionele donkere gezichtsveldfunctie, waarbij slechts een kwadrant wordt verlicht op een bepaald moment. Dit vermindert de halo van het monster en helpt de oppervlaktetextuur van het monster te visualiseren.

Structuur van halfgeleiderschips

Residuen van fotograaf op halfgeleiderschips

Maak gemakkelijk panoramafbeeldingen: Instant MIa

Met Multiple Image Alignment (MIA) kunnen gebruikers eenvoudig en snel afbeeldingen verbinden door de KY-knop in een handmatige fase te verplaatsen, terwijl een elektrisch platform niet nodig is. De Olympus Stream-software maakt gebruik van patroonherkenning om panoramische beelden te genereren die gebruikers een breder zicht geven.

Alle scherpstellingsafbeeldingen maken: EFI

De functie Extended Focus Imaging (EFI) in de Olympus Stream neemt beelden vast van een steekproef die zich in hoogte uitstrekt boven de scherpdiepte van het doel en legt ze samen om een ​​volledig gefocust beeld te creëren. EFI kan handmatig of elektrisch worden uitgevoerd met de Z-as en maakt een hoogtediagram voor eenvoudige structurele visualisatie. Het is ook mogelijk om EFI-afbeeldingen offline op het streaming-bureaublad te bouwen.

Lichte en donkere zones vastleggen met HDR

Met behulp van geavanceerde beeldverwerking regelt High Dynamic Range (HDR) het verschil in helderheid in de afbeelding aan om schildering te verminderen. HDR verbetert de visuele kwaliteit van digitale beelden en helpt daarmee bij het genereren van professionele rapporten.

Van basismeting tot analyse

Meting is van cruciaal belang voor kwaliteits- en procescontrole en -inspectie. Met dit in gedachten bevat zelfs het Olympus Stream-pakket voor beginners een volledig menu met interactieve meetfuncties, waarbij alle metingen worden opgeslagen in een beeldbestand voor verdere documentatie. Bovendien biedt de Olympus Stream Materials Solutions een intuïtieve, workflow-georiënteerde interface voor complexe beeldanalyses. Met een druk op een knop kunnen beeldanalysetaken snel en nauwkeurig worden uitgevoerd. Door de tijd voor het verwerken van herhaalde taken aanzienlijk te verminderen, kan de operator zich concentreren op de controle bij de hand.

Rapport genereren

Het maken van rapporten duurt meestal langer dan het vastleggen van afbeeldingen en metingen. De Olympus Stream-software biedt intuïtieve rapportage-creatie om slimme en complexe rapporten herhaaldelijk te genereren op basis van vooraf gedefinieerde sjablonen. Het bewerken is eenvoudig en het rapport kan worden geëxporteerd naar Microsoft Word of PowerPoint-software. Bovendien maakt de rapportagefunctie van de Olympus Streaming-software het mogelijk om digitale schalen en vergrote afbeeldingen te verkrijgen. Het rapportbestand is van een redelijke grootte om de uitwisseling van gegevens via e-mail te vergemakkelijken.

Afzonderlijke camera opties

Met de DP22 of DP27 microscoopcamera's wordt de MX63-serie een geavanceerd onafhankelijk systeem. De camera kan worden bestuurd via een compacte doos die slechts een kleine ruimte vereist, waardoor gebruikers optimaal gebruik kunnen maken van de laboratoriumruimte, terwijl ze tegelijkertijd heldere beelden kunnen vastleggen en basismetingen kunnen uitvoeren.

Ondersteuning voor Cleanroom Conformity

De MX63-serie is ontworpen om te werken in reine kamers en helpt het risico op vervuiling of beschadiging van monsters te verminderen. Het systeem is ergonomisch ontworpen om de gebruiker comfortabel te helpen, zelfs tijdens langdurig gebruik. De MX63-serie voldoet aan internationale normen, waaronder Half S2/S8, CE en UL.

Optionele chiploader-integratie - AL120-systeem*

De optionele chiploader kan worden aangesloten op de MX63-serie om silicium- en samengestelde halfgeleiderschips van boxtape naar de microscopische fase te verplaatsen zonder pincet of staaf te gebruiken. Uitstekende prestaties en betrouwbaarheid zorgen voor effectieve macro-inspecties voor en achter, terwijl de lader de productiviteit van het laboratorium verhoogt.

MX63 in combinatie met Al120 chiploader (200 mm versie)*E120 is niet beschikbaar in EMEA.

Snelle reinigingscontrole

De MX63-serie voldoet aan de stofvrije chipinspectie. Alle motorische onderdelen zijn afgeschermd en worden met antistatische behandeling toegepast op onderdelen zoals microscoopframes, buizen, ademhalingskappen en meer. De gemotoriseerde neusvleugel draait sneller dan de manuele neusvleugel, waardoor de inspectietijd wordt verminderd terwijl de hand van de operator onder de chip wordt gehouden en potentiële vervuiling wordt verminderd.

Systemontwerp voor effectieve waarneming

Dankzij de combinatie van de ingebouwde koppeling en de XY-knop is de XY-klasse in staat om tegelijkertijd zware en fijne bewegingen in twee fasen uit te voeren. Deze fase helpt bij het observeren van efficiëntie, zelfs voor grote steekproeven, zoals 300 mm chips.Een breed scala aan kantelbare observatiebuizen stelt de gebruiker in staat om onder de microscoop in een comfortabele houding te zitten.

Accepteer alle chipmaten

Het systeem werkt met verschillende soorten 150 - 200 mm en 200 - 300 mm wafer houders en glazen platen. Als de grootte van de chip op de productielijn verandert, kan het kader van de microscoop worden gewijzigd tegen minder kosten. Met de MX63-serie kunnen verschillende fasen worden gebruikt om controlelijnen op 75 mm, 100 mm, 125 mm en 150 mm-chips te bevatten.

Intuïtieve microscopische bediening: gemakkelijk te gebruiken

De instelling van de microscoop is eenvoudig te bedienen en maakt het eenvoudig voor de gebruiker om de systeeminstellingen aan te passen en te reproduceren.

Snel focus vinden: Focushulp

Het invoegen van een scherpstellingshulpmiddel in de lichtweg maakt het eenvoudig en nauwkeurig om te focussen op een monster met een laag contrast, zoals een naakte plaat.

Eenvoudig herstellen van microscoop instellingen: codering hardware

De coderingsfunctie combineert de hardwareinstellingen van de MX63-serie met de Olympus Streaming Image Analysis Software. Observatiemethoden, verlichtingsintensiteit en vergroting worden automatisch opgenomen door de software en opgeslagen in de relevante afbeeldingen. Omdat de instellingen gemakkelijk reproduceerbaar zijn, kan elke operator dezelfde kwaliteitscontroles uitvoeren met een minimale training.

Ergonomische controle voor sneller en comfortabeler gebruik

Het besturingsapparaat voor het wijzigen van het doel en het aanpassen van de lamp bevindt zich onder de microscoop, zodat de gebruiker niet hoeft de focusknop los te laten of zijn hoofd van de bril te verplaatsen tijdens het gebruik.

Sneller observeren met behulp van de lichtintensiteitsbeheerder en automatische apertuurregeling

Onder een normale microscoop moet elke waarnemer de lichtintensiteit en de diafragma aanpassen. Gebruikers van de MX63-serie kunnen de lichtintensiteit en openingsomstandigheden instellen voor verschillende vergrotings- en observatiemethoden. Deze instellingen kunnen gemakkelijk worden teruggeroepen, waardoor gebruikers tijd besparen en een uitstekende beeldkwaliteit behouden.

Lichtintensiteitsbeheerder

Gewone lichtintensiteit	Bij het wijzigen van de vergrotingsveelvoudige of de waarnemingsmethode wordt het beeld te helder of te donker.
Lichtintensiteitsbeheerder	Bij het wijzigen van een vergrotingsveelvoudig of waarnemingswaarde wordt de lichtintensiteit automatisch aangepast om een ​​uitstekend beeld te produceren.

Automatische openingsregeling

Optische en digitale beeldvorming kwaliteitscontrole

De geschiedenis van Olympus in de ontwikkeling van optiek van hoge kwaliteit en geavanceerde digitale beeldvormingsmogelijkheden heeft bewezen een record van optische kwaliteit en microscopen die uitstekende meetnauwkeurigheid bieden.

Uitstekende optische prestaties: Pre-wave Differential Control

De optische eigenschappen van het objectief hebben een directe invloed op de kwaliteit van het waargenomen beeld en de analyseresultaten. De Olympus UIS2 met hoge vergrooting is ontworpen om de voorgolfafwijkingen te minimaliseren en betrouwbare optische prestaties te bieden.

Slechte golf voor goede golf voor (UIS2 doel)

Consistente kleurtemperatuur: hoge intensiteit wit licht LED-verlichting

De MX63-serie maakt gebruik van witte LED-lichtbronnen met hoge intensiteit voor reflecterende en transmissieve verlichting. LED's houden een consistente kleurtemperatuur, ongeacht de intensiteit, om een ​​betrouwbare beeldkwaliteit en kleurreproductie te garanderen. LED-systemen bieden efficiënte en lange levensduur verlichtingsmaterialen die geschikt zijn voor materialenwetenschappelijke toepassingen.

Nauwkeurige meting: automatische kalibratie

Net als digitale microscopen is automatische kalibratie beschikbaar bij het gebruik van Olympus Stream-software. De automatische kalibratie helpt om de door de mens veroorzaakte variabiliteit tijdens het kalibratieproces te elimineren, wat leidt tot betrouwbaardere metingen. Automatische kalibratie berekent automatisch de juiste kalibratie met behulp van een algoritme van het gemiddelde van meerdere meetpunten. Dit minimaliseert de verschillen die door verschillende exploitanten worden geïntroduceerd en behoudt een consistente nauwkeurigheid die de betrouwbaarheid van periodieke verificaties verbetert.

Volledig helder beeld: schaduwcorrectie

De Olympus Stream-software is gekenmerkt door schaduwcorrectie om de schaduw in de hoeken van het beeld aan te passen. Wanneer deze wordt gebruikt in combinatie met de intensiteitsdrembelinstellingen, biedt schaduwcorrectie een nauwkeuriger analyse.

Halfgeleiderschip (binaire afbeelding)

Volledig aanpasbaar

De MX63-serie is ontworpen om klanten in staat te stellen een verscheidenheid aan optische componenten te selecteren om aan de individuele inspectie- en toepassingsbehoeften te voldoen. Het systeem maakt gebruik van alle waarnemingsmethoden. Gebruikers kunnen ook kiezen uit een verscheidenheid aan Olympus Stream-beeldanalysepakketten om te voldoen aan de behoeften van individuele beeldverzameling en -analyse.

Twee systemen voor verschillende steekproefgroottes

Het MX63-systeem kan chips tot 200 mm omvatten, terwijl het MX63L-systeem chips tot 300 mm kan verwerken met dezelfde kleine voetafdruk als het MX63-systeem. Het modulaire ontwerp maakt het mogelijk om de microscoop aan te passen aan uw specifieke behoeften.

Infraroodcompatibiliteit

Infrarood objectieven kunnen worden uitgevoerd met behulp van een infrarood objectief, waardoor de operator het binnenste van een IC-chip die is ingepakt en geïnstalleerd op een PCB schadeloos kan detecteren, met behulp van de eigenschappen van het infrarood doorgeven silicium. 5X tot 100X infrarood doelen kunnen kleurverschillen corrigeren met behulp van nabij-infrarood zichtbare golflengtes.

De MX63-serie wordt gebruikt op het gebied van reflecterende lichtmicroscopen. Deze toepassingen zijn een voorbeeld van een aantal methoden die systematisch worden gebruikt voor industriële inspecties.

Infrarood (IR) wordt gebruikt om andere gebreken in IC-chips en silicium-apparaten op glas te vinden.

Gepolariseerd licht wordt gebruikt om de textuur van materie en de staat van het kristal te onthullen. Het is geschikt voor het controleren van chips en LCD-structuren.

Differentieel interferentiecontrast (DIC) wordt gebruikt om verschillen in weergave te helpen met kleine steekproefspunten. Het is ideaal voor universiteit inspections monsters met grote verschillen zoals minute magnetische kop, harde schijf media, en gepolijste chips.

Het donkere veld wordt gebruikt om kleine krassen of gebreken op een monster te detecteren, of om een ​​monster te detecteren met een spiegel, zoals een chip. Gebruikers van gemengde verlichting kunnen patronen en kleuren bekijken.

Fluorescentie wordt gebruikt in monsters die licht emitteren bij verlichting met een speciaal ontworpen filter. Dit wordt gebruikt om verontreiniging en fotoresistente residuen te detecteren. De gemengde verlichting maakt het mogelijk om de resten van fotogeen en IC-patronen te observeren.

Deze waarnemingstechniek is geschikt voor transparante monsters zoals LCD's, kunststoffen en glazen. Gemengde verlichting maakt het mogelijk om de kleur van het filter en het patroon van het circuit te observeren.

Olympus Halfgeleider/FPD Inspectie Microscoop Oplossing MX63 / MX63L Configuratieparameters

		MX63	MX63L
Optische systemen		Optisch systeem UIS2 (oneindige afstand correctie)
Toon Micro Spiegel De machine Reken	Reflecterende verlichting	LED-lampen, 12V100W halogeen lampen, 100W kwik lampen Verlichting: licht, donker Ingebouwde elektrische openingslamp Waarneming: helder veld, donker veld, differentiële interferentie (DIC), eenvoudige polarisatie, fluorescentie, infrarood
	Transmitterende lichtverlichting	Transmitterende lichtverlichting: MX-TILLA of MX-TILLB - MX-TILLA::Apendice met openingsdiameter NA0.5 - MX-TILLB: openingslamp NA0.6 Lichtbron: LG-PS2 (halogeenlamp 12/V100 W) Waarnemingswijze: helder veld, eenvoudige polarisatie
	Focus	Reisbasis: 32 mm Afschermingsproces per draai: 100 μm Kleine schaal: 1 μm Uitgerust met toplimiter voor koppelverstelling van grove handgrepen
	Maximale belasting (inclusief statief)	8 kg	15 kg
Perspectief Tscha cilinder	Breed zichtveld (FN 22 mm)	Zoals de U-ETR4 Rechte, schuine drie ogen: U-TTR-2 U-TR30-2, U-TR30IR (infrarood waarneming) Omkeerbare blikken: U-BI30-2 Omkeerde, schuine ogen: U-TBI30
	Ultrabreed zicht （FN 26.5 mm）	Vertical, kanteling: MX-SWETTR spectrale verhouding 100%: 0 of 0: 100%) U-SWETTR spectrale verhouding 100%: 0 of 20%: 80%) Voorbeeld: U-SWTR-3
Objectief converter		Elektrische omvormer met zes gaten met DIC-slot: U-D6REMC Openveld vijfgaten converter met DIC automatische centreringsslot: U-P5REMC Elektrische omvormer met zes gaten met DIC-slot: U-D6BDREMC Licht en donker veld vijf gaten converter met DIC-slot: U-D5BDREMC Licht en donker veld vijf gaten converter met DIC automatische centrering slot: U-P5BDREMC
Transportstation		Ingebouwde koppelingaandrijving, coaxiale rechterhand: MX-SIC8R Strijkafstand: 210 x 210 mm Lichtdoordringingsgebied: 189 x 189 mm Ingebouwde koppelingaandrijving, coaxiale rechterhand: MX-SIC6R2 Strijkafstand: 158 x 158 mm (met reflecterend licht)	Ingebouwde koppelingaandrijving, coaxiale rechterhand: MX-SIC1412R2 Reisbasis: 356 x 305 mm Lichtdoordringingsgebied: 356 x 284 mm
gewicht		Ongeveer: 35,6 kg (microscoop rack 26 kg)	Ongeveer: 44 kg (microscoop rack 28,5 kg)

Opmerking: de inhoud van de parametertabel is de introductie van de belangrijkste parameters, de werkelijkeOp basis vanbehoeften worden geconfigureerd.