Het meten van de ** reflectiviteit van de doelfilm, het meten van de dikte van de film en de optische constante met hoge nauwkeurigheid! Non-contact · Non-destructie · Microscopie
De meettijd is slechts 1 seconde!
De microspectrometers van de OPTM-serie kunnen met behulp van microspectrologie worden gemeten op een klein gebied met** reflectiviteit voor een zeer nauwkeurige analyse van de membrandikte/optische constante. Meting van de dikte van coatings op niet-destructieve en contactloze manieren, zoals diverse films, chips, optische materialen en meerlaagse films. Met een hoge snelheid van 1 seconde per punt en software voor het analyseren van optische constanten, zelfs voor de eerste keer
Kenmerken van het product:
Hoofd geïntegreerd met functies die nodig zijn voor het meten van filmdikte
Hoge nauwkeurigheid** bij het meten van reflectiviteit via microspectrologie (meerlaagse membrandikte, optische constante)
1:1 seconde hoge snelheidsmeting
Optische systemen voor een breed bereik onder differentiaal licht (UV*** nabij infrarood)
Veiligheidsmechanismen voor regionale sensoren
Eenvoudige analysegids, ook voor beginners optische constante analyses
Onafhankelijke meetkoppen voor verschillende inline-aanpassingsbehoeften
Ondersteuning voor verschillende aanpassingen
Meetprojecten:
** Afmeting van de reflectiviteit
Multi-Layer Analyse
Optische constante analyse (n: brekingsverhoud, k: lichtverdwijning)
Toepassing:
Halfgeleider: automatische aanpassing van de wafer monster, detectie van de buiging van de wafer
Optische componenten: Radiatie, buiging enz. van de lens
Productspecificaties:
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
|
Golflengtebereik |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Membrandikte bereik |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Mettijd |
1 seconde / 1 punt |
||
Grootte van de lichtvlekken |
10 μm (*** ongeveer 5 μm klein) |
||
Lichtsensoren |
CCD |
InGaAs |
|
Lichtbron specificaties |
Deuteriumlamp + halogeenlamp |
Halogeenlampen |
|
Voedingsspecificaties |
AC100V ± 10V 750VA (specificaties van de automatische steekproefstand) |
||
Afmetingen |
555(B) × 537(D) × 568(H) mm |
||
gewicht |
Ongeveer 55 kg (hoofddeel van de specificaties van de automatische monsterplaats) |