Inleiding:

① Vacuüm: 2.0x10-8Pa;

Materiaal: 316L roestvrij staal

Interfaceflens: alle CF-flens;

② oppervlaktebehandeling: elektrolytische polijstbehandeling van olieverwijdering;

MBE moleculaire straal uitbreiding apparatuur Introductie:

Moleculaire straalextensie (MBE) is een nieuw ontwikkelde methode voor het maken van extensiefliemen en een speciaal vacuümcoatingproces. Extensie is een nieuwe technologie voor de voorbereiding van monokristalline films, het is een laag voor laag groeiende film langs de kristalline richting van het ondergrondmateriaal onder de juiste ondergrond en de juiste omstandigheden.

De voordelen van deze technologie zijn: de ondergrondstemperatuur is laag, de groeisnelheid van de membrane laag is langzaam, de stroomsterkte is gemakkelijk nauwkeurig te regelen en de samenstelling van de membrane laag en de dopingconcentratie kunnen snel worden aangepast aan veranderingen in de bron. Met behulp van deze techniek is het mogelijk om monokristalline films van dunne tot tientallen atomische lagen te bereiden, evenals ultradunne laag kwantummicrostructurele materialen die afwisselend worden gevormd door verschillende componenten en verschillende gedopingde films.