Hoge snelheid, hoge nauwkeurigheid, gemengde optische uiterlijkscontroleapparaat YSi-12

Kenmerken:
Met een hoge resolutie van XY tot 10 µm en Z tot 5 µm

~ Duigheid van de bepaling kan worden vermijden, om een ​​hoge nauwkeurigheid te bereiken die gelijk is aan de meter ~

Controle snelheid L330 x W250mm met een gemiddelde van maximaal 15 seconden per substrat (onder optimale omstandigheden van 3-laagse verlichting)

Kies uit 5 verschillende methoden voor een optimale controle

3 kleuren boven en onder, plus 10 beeldherkenning IR

Controlecamera met 5 megapixels