De ultra-microdruksensor CYG502 met een nominale buitendiameter van 2 mm is speciaal ontworpen voor toepassingen die kleinere installatieafmetingen vereisen in vloeistofmechanische experimenten. Het is de kleinste druksensor die ons bedrijf momenteel introduceert.
De drukgevoelige componenten van de CYG502 zijn ontworpen en vervaardigd met geavanceerde MEMS-technologie (Miro Electronic Machinical Systems). Driedimensionale geïntegreerde, tweezijdige bewerking van drukgevoelige silicium-onderdelen met een uitstekende lineaire nauwkeurigheid. De hoge consistentie van de Whiston-spanningsbrug, gemaakt met ioninjectie en fijne lithografie, zorgt ervoor dat deze zeer kleine temperatuurverschuivingen heeft. Met behulp van silicon silicon directe binding technologie, omgekeerde V-slot ontwerp, waardoor de optimalisatie van de grootte van de chip film kan worden gebruikt, de volledige grootte van de chip te verkleinen tot 1 x 1 mm, en de output gevoeligheid kan nog steeds bereiken 100kpa bereik, voor de realisatie van ultra-micro sensoren een belangrijke doorbraak te bereiken.
De vervanging van de silicium-glas binding in het traditionele ontwerp naar de silicium-silicium binding verbetert het thermische matching-effect en vermindert de nulinstabiliteit door spanning.
Er zijn momenteel op de markt assortimenten met absolute druk meetmodus producten, en het supradruk type wordt ontwikkeld.
CYG502A ultra-micro druksensor is in de vorm van een sonde, de standaard buitendiameter is Ф2.15mm, de lengte is 18mm, de optionele omvang van de sensor is 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa absolute druk.
De CYG502A-isolatiesensor wordt aan de voorkant gedrukt door gevoelige componenten. Daarom is het alleen van toepassing op droge gassen met een medium als niet-corrosief en niet-geleidend. Het heeft een vrij breed werktemperatuurgebied, tot -55 ℃ ~ + 120 ℃, heeft ook zeer uitstekende hoge frequentie dynamische eigenschappen, zijn laagste bereik van de inherente frequentie van gevoelige elementen > 200kHz, stijgtijd is sub-microseconden.
1, prestatie indicatoren parameters
| Indicatoren/graden | Niet-lineaire nauwkeurigheid ±%FS |
Late herhaling %FS |
Nulttemperatuurcoëfficiënt ×10-4FS /℃ |
Gevoeligheid temperatuurfactor ×10-4FS /℃ |
Drijven bij nul <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
Volledige uitgang: minimale waarde 30mv typische waarde 80mv maximale waarde 130mv
Input-output impedance: minimale waarde 3 kΩ typische waarde 5 kΩ maximale waarde 7 kΩ
Input werkstroom: 1.5mA (meterspanning) 1mA (absolute spanning) (constante stroombron)
Werktemperatuurbereik: -55 ℃ ~ + 120 ℃
Compensatie temperatuurbereik: -10 ℃ ~ + 80 ℃
Overbelasting: 200% van het nominale bereik
Versnellingsgevoeligheid: < 0,001% FS / g
Afmetingen: CYG502A

